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microMIRA用于MicroLED應用的高通量激光剝離技術

        

        


        microMIRA 激光剝離（LLO）系統可在高速加工條件下，實現晶圓上不同薄膜層高度均勻且無機械應力的剝離。由于氮化鎵（GaN）基MicroLED通常利用藍寶石襯底與其相似的晶體結構進行外延生長，因此大多數GaN基MicroLED都生長在藍寶石上。然而，從藍寶石這類透明且昂貴的材料上進行剝離是一項重大挑戰，只有激光技術才能在保證合理生產效率的前提下實現這一工藝。microMIRA 激光系統特別適
        

        

        更新時間：2026-01-09
        

        型號：microMIRA
        

        廠商性質：代理商
        

        瀏覽量：153
        

        

        

        

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