iFocus是一款用于晶圓外觀缺陷檢測設(shè)備，利用STI的2D/3D視覺檢測系統(tǒng)，采用雙2D Camera同時采集亮區(qū)和暗區(qū)照片分析特征缺陷；True 3D技術(shù)，可以精確量測Bumping高度，Bumping共面性等特征。可適用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀檢測。